【摘 要】
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一、前言 SnO_2透明导电薄膜的制备方法很多,如真空镀膜法、溅射法、化学气相淀积法、化学喷涂法等等。其中,化学喷涂法比较简单,容易推广应用。本文用化学喷涂法研究了SnO_
【机 构】
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中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,
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一、前言 SnO_2透明导电薄膜的制备方法很多,如真空镀膜法、溅射法、化学气相淀积法、化学喷涂法等等。其中,化学喷涂法比较简单,容易推广应用。本文用化学喷涂法研究了SnO_2透明导电薄膜的制备方法及喷涂时所用的载带气体O_2及N_2的影响,用扫描电子显微镜观察了表面现象,用X射线衍射法及电子能谱法分析研究了薄膜的组成和其比例。
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