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用原子吸收光谱和X射线荧光光谱,测得Ni在Si中的分布为内部浓度低,表面浓度高的U形分布。扫描电子显微镜观察到了Ni在Si表面的沉积和由此产生的晶格缺陷。表面沉积物是Si—Ni合金,其原子比为Si:Ni—2:1。更多还原
Ni在Si中的分布和沉积
【摘 要】
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用原子吸收光谱和X射线荧光光谱,测得Ni在Si中的分布为内部浓度低,表面浓度高的U形分布。扫描电子显微镜观察到了Ni在Si表面的沉积和由此产生的晶格缺陷。表面沉积物是Si—Ni
【机 构】
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四川大学物理系,四川大学物理系
【出 处】
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四川大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1989年3期
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