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以粒度为～2μm，5-20μm，100-200um的焦炭颗粒，粒度为～1μm的石英砂粉体为原料，采用微波加热合成了碳化硅粉体。在1600℃下保温30min，反应能完全进行，合成产物中β-SiC的含量达到98％以上。得到的SiC粉体具有与焦炭颗粒近似的颗粒尺寸。研究表明，微波加热具有节能快速的优点，能显著地促进反应的进行。