类金刚石薄膜的喇曼光谱高斯分解研究

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采用过滤式阴极电弧沉积的方法获得类金刚石薄膜,喇曼光谱的分析表明,这种薄膜是典型的无氢类金刚石薄膜,喇曼光谱的高斯分解研究表明:随着偏压的增加,D线和G线的位置μd,μg向低频移动,半高宽Fg减小,Fd增加,在偏压为-100V时,D线和G线强度比Id/Ig有最大值。
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