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超声原子力显微镜接触模式下样品有限元分析
超声原子力显微镜接触模式下样品有限元分析
来源 :新乡学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chnlaozhang
【摘 要】
:
通过ANSYS有限元的方法对接触模式下的样品进行静力学仿真,以获得不同载荷、不同内部结构大小、不同内部结构位置以及不同材料时针尖和样品接触形变及刚度变化。
【作 者】
:
孙星星
陈玉
【机 构】
:
安徽工程大学机械与汽车工程学院
【出 处】
:
新乡学院学报
【发表日期】
:
2014年12期
【关键词】
:
超声原子力显微镜
有限元分析
样品
形变与刚度
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通过ANSYS有限元的方法对接触模式下的样品进行静力学仿真,以获得不同载荷、不同内部结构大小、不同内部结构位置以及不同材料时针尖和样品接触形变及刚度变化。
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