超声原子力显微镜接触模式下样品有限元分析

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通过ANSYS有限元的方法对接触模式下的样品进行静力学仿真,以获得不同载荷、不同内部结构大小、不同内部结构位置以及不同材料时针尖和样品接触形变及刚度变化。
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