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精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高低会影响产品生产质量。文章从设计理论基础入手,对三自由度精密定位工作台设计及工艺技术进行了分析,最后对定位工作台精度进行实验。
浅谈三自由度精密定位工作台设计与制造工艺技术
【摘 要】
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精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高低会影响产品生产质量。文章从设计理论基础
【机 构】
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安徽高速传媒有限公司
【出 处】
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智能城市
【发表日期】
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2017年10期
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