高度取向ZnO薄膜的介电和光波导特性研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：opp2781062

【摘要】

：

用溶胶－凝胶法在不同的基片上制备了具有高度ｃ轴即（００２）取向的ＺｎＯ薄膜，研究了溶剂，稳定剂等对合成的先体溶液的影响，对薄膜的ＸＲＤ分析表明随热处理温度的增加，ｃ轴取向度增大，并且薄膜的晶粒尺寸在

【作者】

：

翟继卫陈小刚张良莹姚熹

【机构】

：

2西安交通大学电子材料研究所

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

1999年4期

【关键词】

：

ZNO薄膜溶胶-凝胶法高度取向介电波导损耗 ZnOthinfilm SolGel orientation dielectric opticalwaveg

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用溶胶－凝胶法在不同的基片上制备了具有高度ｃ轴即（００２）取向的ＺｎＯ薄膜，研究了溶剂，稳定剂等对合成的先体溶液的影响，对薄膜的ＸＲＤ分析表明随热处理温度的增加，ｃ轴取向度增大，并且薄膜的晶粒尺寸在３００℃～５００℃范围内增幅增大，用端面耦合的方法测量了制备在ＳｉＯ２／Ｓｉ（１１１）基片上薄膜的波地损耗，即随热处理温度的增加，波导损耗增大，主要来源于ＺｎＯ薄膜与ＳｉＯ２界面及晶粒的散射，制备在Ｐｔ

其他文献

护理干预对治疗念珠菌性阴道炎的影响

目的评价对念珠菌性阴道炎护理干预的效果。方法回顾2007年至2009年期间的113名确诊为念珠菌性阴道炎患者，分别为其实施综合性护理干预措施。结果108名患者治愈（占95．6％），5名患者好

期刊

念珠菌性阴道炎护理干预

Mammotome旋切系统治疗乳腺良性肿块与开放性手术的对比观察（附83例报告）

目的Mammotome旋切系统用于乳腺良性肿块进行微创切除和传统开放性手术切除进行对比。方法取83例（93个）乳腺良性肿块行Mammotome旋切，设为研究组；取80例（86个）行开放性手术，设为对照

期刊

MAMMOTOME旋切系统乳腺良性肿块开放性手术对比研究

英汉互译过程中的形意转化及补偿策略

英汉互译不仅需要在论述形合与意合基本界定的基础上，从英译汉读的实践角度对形意转化策略进行分析，还要针对形意相互转换过程中不可翻译现象所需采用的翻译补偿策略进行分析探

期刊