【摘 要】
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测量了正常操作条件与外延反应器中汽相杂质浓度的关系,发现反应器温度和装片时暴露于空气的时间对原位的气体质量有明显的影响。通过实验确定了工艺对汽相杂质的敏感度。把
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测量了正常操作条件与外延反应器中汽相杂质浓度的关系,发现反应器温度和装片时暴露于空气的时间对原位的气体质量有明显的影响。通过实验确定了工艺对汽相杂质的敏感度。把数量可控的氧、氮和甲烷加入到处于升温、腐蚀或工艺淀积过程的主氢气流中,采用激光灰雾测量系统测量表面,评价了实验结果。结果表明痕量氧对雾和缺陷密度有明显的影响。
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