计量光栅均匀性误差的检测方法

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均匀性误差是指计量光栅各部位透光量不均匀所造成的定位误差,它用转换点误差来表示。如图1所示,1-2为亮区间(相当于亮线条),2-3为暗区间(相当于暗线条)。使亮区间等于暗区间的电平叫转换电平(以V转表示)。若在整个光栅上有N条刻线,就取出N个正弦波,则得到N个不同的转换电平,这些转换电平有一个平均值,称之为平均转换电平(以V_均表示)。转换电平与光电信号的交点 Homogeneity error refers to the measurement error caused by the uneven transmission of light in all parts of the grating. It is expressed by the error of the conversion point. As shown in Figure 1, 1-2 for the bright section (equivalent to bright lines), 2-3 for the dark section (equivalent to dark lines). Make the bright interval equal to the level of the dark interval called the transition level (in V to represent). If you have N lines on the entire raster, take out N sine waves, you get N different conversion levels, these conversion levels have an average, called the average conversion level (in V_ mean ). The intersection of conversion level and photoelectric signal
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