高频溅射二氧化硅薄膜电容器

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一、序言(1)薄膜混合集成电路基于其本身的高精度,高稳定性,抗干扰和抗幅射的特点,加上半导体单片电路和薄膜电路新的集成技术的发展,使薄膜混合集成电路在军事、宇宙航行和通信设备中获得广泛应用。近年来,薄膜混合集成电路已向微波领域进军,集总参数的微波集成电路也逐渐获得了越来越多的应用。目前,薄膜混合集成电路的主要对象是模拟电路,其次是数字电路。 I. Preamble (1) Thin film hybrid integrated circuits based on its own high precision, high stability, anti-jamming and anti-radiation characteristics, coupled with the development of new integrated technologies for semiconductor monolithic and thin film circuits, the film hybrid integrated Circuits are widely used in military, aerospace and communications equipment. In recent years, the thin film hybrid integrated circuit has been marching into the field of microwaves, and the lumped parameter microwave integrated circuit has gradually obtained more and more applications. Currently, the main target of thin film hybrid integrated circuits is analog circuits, followed by digital circuits.
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