【摘 要】
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在考虑了多晶/单晶之间界面氧化层的基础上,本文提出了一个新的多晶硅发射区双极晶体管发射区渡越时间的解析模型,用推导出的标志电荷存储机理的S因子详细分析了发射区渡越时间与
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在考虑了多晶/单晶之间界面氧化层的基础上,本文提出了一个新的多晶硅发射区双极晶体管发射区渡越时间的解析模型,用推导出的标志电荷存储机理的S因子详细分析了发射区渡越时间与多晶/单晶界面参数之间的关系,区分了支配RCA器件和HF器件发射区渡越时间的不同电荷存储机理,得到了有关获得高性能多晶硅发射区双极晶体管的结论.
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