Electrothermal Driving Microcantilever Resonator as a Platform for Chemical Gas Sensing

来源 :Tsinghua Science and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户:shmilyfanwen
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Introduction Commercially available gas sensors include metal oxide sensors (MOS), conductive polymer (CP) resistors, quartz crystal microbalance (QCM), surface acoustic wave (SAW) sensors, field effect transistors (FET), thermopiles (TMP), and conductive oligomers (CO)[1-4].In recent years, there has been an increasing interest in Introduction Commercially available gas sensors include metal oxide sensors (MOS), conductive polymer (CP) resistors, quartz crystal microbalance (QCM), surface acoustic wave (SAW) sensors, field effect transistors (FET), thermopiles (TMP) (CO) [1-4] .In recent years, there has been an increased interest in
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