【摘 要】
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尽管作为微电子工业的基础 ,硅和锗的表面和界面几十年来一直是研究的热点 ,但和纳米技术等不断提出的问题相比 ,对它们的了解仍很不够 .为此 ,最近我们用扫描隧道显微镜和低
【机 构】
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北京大学物理系人工微结构与介观物理实验室!北京100871;
【基金项目】
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国家自然科学基金委员会“八五”和“九五”重点项目基金;国家教委博士点基金资助项目
论文部分内容阅读
尽管作为微电子工业的基础 ,硅和锗的表面和界面几十年来一直是研究的热点 ,但和纳米技术等不断提出的问题相比 ,对它们的了解仍很不够 .为此 ,最近我们用扫描隧道显微镜和低能电子衍射方法 ,对锗硅表面的稳定性、宏观小面化、纳米小面化、小面化的规律、稳定表面的比自由能、表面原子结构以及表面和亚表面原子的动态过程进行了大量的系统的研究 .文章综述已取得的研究结果 .这些结果除具有重要的基础意义外 ,对半导体异质外延生长衬底选择 ,以及量子线和量子点自组织生长模板的选择都会有帮助 .
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