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采用溶胶-凝胶法在Si和普通玻璃基底上制备V2O5纳米薄膜。在空气中对样品进行不同温度的退火处理。利用X射线衍射、扫描电子显微镜和分光光度计对制备的V2O5薄膜的结构、形貌和光学特性进行研究。XRD和SEM研究结果表明：可以通过升高退火温度来提高薄膜的结晶程度、颗粒尺寸及其均匀程度，并增强V2O5的择优取向性。透射谱和吸收谱的研究结果表明：随着退火温度的升高，V2O5薄膜的吸收边缘发生红移，光学带隙逐渐变窄。