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微光机电系统制造工艺综述

来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gzw39

【摘 要】

：

重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。 The basic manufacturing process of

【作 者】

：

周易 纪引虎 

【机 构】

：

中国航空工业第六一八研究所,中国航空工业第六一八研究所 西安710075,西安710075

【出 处】

：

航空精密制造技术

【发表日期】

：

2008年02期

【关键词】

：

微光机电系统(MOEMS) 硅微机械加工技术 LIGA技术 

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重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。 The basic manufacturing process of MOEMS is elaborated: silicon micromachining technology and LIGA technology, and introduces several typical process applications. Finally, the development of its prospects.

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