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利用多极板赝火花放电室（ＭＰＣ）产生的纳秒脉冲电子束，在室温条件下沉积了钥酸俚薄膜，所沉积的膜在氯化钠（ＮａＣｌ）、溴化钾（ＫＢｒ）、镍（Ｎｉ）衬底上沿（００６）平面择优取向。文中分析了膜厚与膜的质量之间的相关性。
纳秒赝火花脉冲电子束烧蚀法制备铌酸锂薄膜
【摘 要】
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利用多极板赝火花放电室（ＭＰＣ）产生的纳秒脉冲电子束，在室温条件下沉积了钥酸俚薄膜，所沉积的膜在氯化钠（ＮａＣｌ）、溴化钾（ＫＢｒ）、镍（Ｎｉ）衬底上沿（００６）平面择优取向。文中分析了膜厚与膜的质量之间的相关性。
【机 构】
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北京航空航天大学应用数理系,兰州大学现代物理系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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