【摘 要】
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日本东北大学科学计测研究所波岡武教授(Prof.T.Namioka)领导的光学与光谱学研究室近年来在真空紫外—软X射线波段光谱仪器光学设计与评价,光栅刻划,非周期性多层膜制备,等离
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日本东北大学科学计测研究所波岡武教授(Prof.T.Namioka)领导的光学与光谱学研究室近年来在真空紫外—软X射线波段光谱仪器光学设计与评价,光栅刻划,非周期性多层膜制备,等离子体光谱学和激光光谱学方面取得了许多丰硕的研究成果,在日本国内外有很大影响。本文对此作一简要介绍和评述。
Optical and Spectroscopy Laboratory led by Prof.T.Namioka, Institute of Metrology, Tohoku University In recent years, the optical design and evaluation of vacuum ultraviolet-soft X-ray spectrometer, grating characterization, non-periodic Multilayer film preparation, plasma spectroscopy and laser spectroscopy has made a lot of fruitful research results in Japan and abroad have a great impact. This article gives a brief introduction and review.
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