【摘 要】
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利用ＡＥＳ方法研究了ＣｄＩｎ２Ｏ４膜的成分分布。膜中的Ｃｄ、Ｉｎ和Ｏ成份随Ｏ浓度的变化而变化，并对股的电学性质有重要影响。
The composition of CdIn2O4 films was studied by AES. The contents of C
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利用ＡＥＳ方法研究了ＣｄＩｎ２Ｏ４膜的成分分布。膜中的Ｃｄ、Ｉｎ和Ｏ成份随Ｏ浓度的变化而变化，并对股的电学性质有重要影响。
The composition of CdIn2O4 films was studied by AES. The contents of Cd, In and O in the films vary with the concentration of O, and have important influence on the electrical properties of the films.
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