【摘 要】
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随着电子工业的发展,硅材料取得了迅速的进展。特别是最近几年,由于集成电路(IC)技术,特别是金属-氧化物-半导体大规模集成电路(MOSLSI)技术取得了惊人的发展,从高可靠性、
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随着电子工业的发展,硅材料取得了迅速的进展。特别是最近几年,由于集成电路(IC)技术,特别是金属-氧化物-半导体大规模集成电路(MOSLSI)技术取得了惊人的发展,从高可靠性、高集成度、质量完整性和成品率等要求来看,对作为基础材料的硅单晶及其晶片的质量规格也愈益严格。从硅材料制造厂家的角度来看,可以把它归纳成以下几点:
With the development of electronic industry, silicon material has made rapid progress. In recent years, in particular, remarkable progress has been made in the field of integrated circuit (IC) technology, in particular, metal-oxide semiconductor integrated circuit (MOSLSI) technology. From high reliability, high integration, Rate and other requirements, the quality of the silicon single crystal and its wafer as the basic material is also more and more strict. From a silicon material manufacturer’s point of view, it can be summarized as follows:
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