【摘 要】
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研究了用直流脉冲等离子体进行PEOMCVD(等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积)淀积含钛多组元化合物硬质膜的新工艺。对试样进行了显微硬度、涂层厚度、表面结构及膜的元
【机 构】
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中南民族学院电子工程系,中南民族学院电子工程系,中南民族学院电子工程系
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研究了用直流脉冲等离子体进行PEOMCVD(等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积)淀积含钛多组元化合物硬质膜的新工艺。对试样进行了显微硬度、涂层厚度、表面结构及膜的元素成份分析。
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