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设计并制做了一种新型多重嵌套悬臂梁结构的磁致动微机械偏转器。偏转器由１．２μｍＣＭＯＳ工艺和各向异性腐蚀工艺制成。致动原理是电流与磁场的相互作用在悬梁上产生罗仑兹力。测量了偏转器的静态和动态特性。测量结果表明，这种微偏转器的特点是可双向偏转角度大且具有快的时间响应。
多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器
【摘 要】
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设计并制做了一种新型多重嵌套悬臂梁结构的磁致动微机械偏转器。偏转器由１．２μｍＣＭＯＳ工艺和各向异性腐蚀工艺制成。致动原理是电流与磁场的相互作用在悬梁上产生罗仑兹力。测量了偏转
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院,阿尔伯塔大学电气工程系
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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2000年2期
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