从工艺技术看半导体制造设备

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半导体从1948年美国贝尔实验室发明晶体管至今,已经经历了35年的岁月。在这期间,IC、LSI,微处理机直至VLSI技术革新一直在迅猛地进行着。那也就是为实现高集成化、高功能化,高可靠性,低价格等而努力的历史。 The semiconductor has been through 35 years since 1948 when Bell Labs invented the transistor. During this period, IC, LSI, microprocessor until VLSI technological innovation has been carried out rapidly. That is also the history of achieving high integration, high functionality, high reliability and low price.
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