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本文对N沟多晶硅栅MOSFET的低温(77 K)阈值特性进行了理论和实验研究.结果表明,理论分析和测试结果一致,而且与器件的室温特性相比,77 K下器件的亚阈值和阈值电压特性以及衬底灵敏度均得到改善.基于这些结果,本文也给出了适于低温工作的增强型MOSFET的设计原则.
NMOSFET低温阈值特性的研究
【摘 要】
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本文对N沟多晶硅栅MOSFET的低温(77 K)阈值特性进行了理论和实验研究.结果表明,理论分析和测试结果一致,而且与器件的室温特性相比,77 K下器件的亚阈值和阈值电压特性以及衬
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心
【出 处】
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东南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年3期
【基金项目】
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国家教委博士点基金
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