【摘 要】
：
本文对TFT在栅极绝缘层和非晶硅膜层沉积过程中,透明电极ITO成分对膜层的污染和TFT电学性质的影响进行分析研究。通过二次离子质谱分析和电学测试设备对样品进行分析。ITO成
论文部分内容阅读
本文对TFT在栅极绝缘层和非晶硅膜层沉积过程中,透明电极ITO成分对膜层的污染和TFT电学性质的影响进行分析研究。通过二次离子质谱分析和电学测试设备对样品进行分析。ITO成分会对PECVD设备、栅极绝缘层和非晶硅膜层产生污染,并会影响TFT的电学特性。建议采用独立的PECVD设备完成ITO膜层上面的栅极绝缘层和非晶硅膜层的沉积,并且对设备进行周期性清洗,可降低ITO成分的污染和提高产品的电学性能。
其他文献
利用比表面积测试仪(BET)和电子扫描电镜(SEM)对纳米铁粉表面特性进行测定,利用热重分析仪(TGA)对50nm、100nm、500nm和20000nm铁粉在10℃·min-1、20℃·min-1、30℃·min-1
对TFT制作工艺中,TFT有源层刻蚀均一性与电学性质进行分析研究。通过扫描电子显微镜,电学测试设备对样品进行分析。结果显示沟道有源层的刻蚀功率,气体比例及刻蚀压强对有源
正伟大的数学家罗素说:"数学不但拥有真,而且拥有非凡的美——一种像雕塑那样冷峻而严肃的美,一种不具有绘画和音乐那样富丽堂皇的装饰美,然而又是极具纯净的美,唯有伟大的艺
<正>近年来,我国对学习兴趣的研究非常活跃,对学习兴趣在教学活动中的重要作用等方面已取得较为一致的认识。但是,在学科教学中培养学生学习兴趣的理论方面,研究还不够深入,
火花塞作为发动机点火系统中最终执行点火任务的重要零件,也是发动机点火系统故障较多的部件之一。在火花塞的选择、使用与维护等诸多方面若有疏忽或失当,均会影响其正常作用
以GB/T 5009.12-2003食品中铅的测定和GB 2762-2005食品中污染物限量的国家标准为实验依据,使用国内外多家仪器厂家的石墨炉原子吸收光谱仪对食品中铅含量进行了测定。比对研
在当今农村,什么人最有可能成为村干部?本文的分析表明:多数村干部拥有中学文化程度;在村主要干部职位上,中共党员和男性村民拥有绝对的优势。宗族之外的宗教、协会等民间组
本文结合公司财务理论,研究了中国上市公司股权结构对董事会结构的影响。本文着重于董事会对经理层的监督和对大股东的擎制这两项基本功能。文中结果显示:股权集中程度降低独
<正>物质的分离是指将混合物里的几种物质分开,得到几种较纯净的物质。而物质的提纯是利用被提纯物质与杂质的性质不同,选择适当的实验手段将杂质除去。物质的分离和提纯目的