【摘 要】
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通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象,并结合计算机辅助装调技术,确定在检测过程中相
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春130022 ,长春130022
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通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象,并结合计算机辅助装调技术,确定在检测过程中相对敏感的自由度,然后控制这些量,使补偿器和非球面的相对关系与理论设计相吻合,在Zygo相位干涉仪上测得最终结果。在λ=632.8nm时,中心圆口径与两个边缘圆口径面形误差RMS分别为0.022λ,0.037λ,0.032λ。检测结果,达到预期目的。
Through the aspheric zero compensation method, completed the rectangular large-diameter off-axis aspheric mirror detection. Firstly, the optical design software Zemax was used to analyze the phenomena that appeared during the detection. Combined with computer-aided tuning, the relative degrees of freedom in the detection process were determined, and then the quantities were controlled so that the compensator and the aspherical The relative relationship is consistent with the theoretical design, and the final result is measured on a Zygo phase interferometer. At λ = 632.8 nm, the RMS RMS errors of the diameter of the center circle and the diameter of the two edges are 0.022λ, 0.037λ and 0.032λ, respectively. Test results, to achieve the desired purpose.
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