光热探针检测半导体离子注入剂量与均匀性

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chubiao5201314

【摘要】

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本文主要介绍光热探针技术的原理及其在半导体离子注入测试和监控中的应用。 This article introduces the principle of photothermal probe technology and its applicati

【作者】

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张淑仪钱钟灵陆悦生何菁张仲宇

【机构】

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南京大学声学研究所,南京大学声学研究所,南京大学声学研究所,南京大学声学研究所,南京大学声学研究所南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

1993年02期

【关键词】

：

探针技术离子注入光热探针均匀性半导体硅等离子体波鉴别率扩散长度表面层半导体生产

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本文主要介绍光热探针技术的原理及其在半导体离子注入测试和监控中的应用。 This article introduces the principle of photothermal probe technology and its application in the test and monitoring of semiconductor ion implantation.

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