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采用DDR电机和音圈电机来实现高速固晶机的拾放片机构,采用了半闭环的角度PID控制系统和全闭环的位置PID控制系统。通过实验测试实现了高速固晶,单次取放速度可达到180 ms/周期,位置误差可达到±15μm。
基于DDR电机和音圈电机的高速拾放片机构研究
【摘 要】
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采用DDR电机和音圈电机来实现高速固晶机的拾放片机构,采用了半闭环的角度PID控制系统和全闭环的位置PID控制系统。通过实验测试实现了高速固晶,单次取放速度可达到180 ms/周
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年01期
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