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对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析，利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出了阈值电压的计算公式，指出外加电压与梁的宽度无关，与梁的长度的平方成反比，悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间路的1／3，这些结论是悬臂梁微机械关开关设计和研制的直接依据。
一种微机械光开关的分析和设计
【摘 要】
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对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析，利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出了阈值电压的计算公式，指出外加电压与梁的宽度无关，与梁
【机 构】
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中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心,中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2001年7期
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