【摘 要】
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<正> {111}方向生长的直拉硅单晶处于无位错生长状态时外表面出现明显的细纹,同时沿生长方向的棱线在单晶的接近尾部处可能转变为扁棱,出现位错时,这些特征消失,晶体直径缩小
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<正> {111}方向生长的直拉硅单晶处于无位错生长状态时外表面出现明显的细纹,同时沿生长方向的棱线在单晶的接近尾部处可能转变为扁棱,出现位错时,这些特征消失,晶体直径缩小。这些现象可以根据微观生长机制结合界面附近的温度分布加以说明。{111}方向生长的直拉硅单晶的凹型界面的边缘有一环形的{111}小面和3个与其成约71°角的{111}小
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