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利用中子嬗变掺杂(NTD)制备的CZSi(NTDCZSi)中大量存在的辐照缺陷在高温短时间(1100℃,4～8h)退火就可以完成NTDCZSi的IG处理,与CZSi的IG处理相比具有时间短、重复性、可靠性和稳定性规范性好的优点,在LSl制备中取得了良好的效果。
LSI用NDCZSI的IG处理研究
【摘 要】
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利用中子嬗变掺杂(NTD)制备的CZSi(NTDCZSi)中大量存在的辐照缺陷在高温短时间(1100℃,4～8h)退火就可以完成NTDCZSi的IG处理,与CZSi的IG处理相比具有时间短、重复性、可靠性和
【机 构】
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河北工学院
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1990年1期
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