加速度灵敏度优于2×10~(-10)/g的SC切10MHz高Q晶体的设计

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力一频效应的理论和实验研究证明,晶体谐振器的加速度灵敏度直接与装架的位置和结构有关。本文的目的就是要阐明低灵敏度晶体谐振器的一种新的设计方法。加在晶体振动部份的表面力和体积力的影响都必须加以考虑。本文将详细介绍这种新的设计方案。统计结果表明,目前在工业上在最不合适的轴向上能够达到的加速度灵敏度在3×10~(-11)/g和2×10~(-10)/g之间。这些数值是用相位调制反射计或用传统的振荡器以“2g翻转”测试法在所有方向上进行试验测得的(均以5MHz和10MHz加以说明。) Theoretical and experimental studies of the force-frequency effect prove that the acceleration sensitivity of the crystal resonator is directly related to the position and structure of the rack. The purpose of this article is to elucidate a new design method for low-sensitivity crystal resonators. The effects of surface forces and body forces added to the vibration of the crystal must be taken into account. This article will detail this new design. The statistical results show that the acceleration sensitivities currently achievable in industry in the most unsuitable axial directions are between 3 × 10-11 and -2 × 10 -10 / g. These values ​​were measured in all directions using a phase-modulated reflectometer or a conventional “2g flip” test (both 5MHz and 10MHz)
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