声表面波器件刻图装置

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本装置用于表面波器件刻图 ,其脉冲压缩系统中采用声表面波色散延迟线做匹配过滤器。其性能如下 :f0 =30MHz ;△f =5MHz ;T =50 μs(是由两级T′ =2 5μs子器件组成的 ,f=30MHz ;△f=5MHz ,副瓣电平 -30dB ,压缩脉冲宽 0 .32 μs) ;副瓣电平 2 4 .5dB The device is used for surface wave device engraving, the pulse compression system using SAW dispersion delay line to do matching filter. Its performance is as follows: f0 = 30MHz; f = 5MHz; T = 50μs (consisting of two stages of T ’= 25μs sub-devices with f = 30MHz; Δf = 5MHz; side lobe level of -30dB; Width 0.32 μs); sidelobe level 24.5dB
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