【摘 要】
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利用锆钛酸铅（PZT）的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动
【机 构】
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上海应用技术大学理学院,立命馆大学微系统系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助课题(No.60777016);上海联盟计划资助项目(No.LM201441);上海应用技术学院重点学科项目(No.10210Q150005);上海应用技术学院人才引进基金资助项目(No.YJ2014-03)
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利用锆钛酸铅（PZT）的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀。最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能。测试结果表明：所制备的膜片式压电微泵
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