【摘 要】
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由中国电子学会生产技术学会三束学组和中国电子学会半导体与集成技术学会超微细加工及三束学组联合举办的第三届全国电子束、离子束、光子束学术年会于1984年11月2日—5日
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由中国电子学会生产技术学会三束学组和中国电子学会半导体与集成技术学会超微细加工及三束学组联合举办的第三届全国电子束、离子束、光子束学术年会于1984年11月2日—5日在北京举行。来自全国98个单位的258名代表出席了本届年会,会上
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