【摘 要】
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一、前言通常,使用干涉膨胀计测定膨胀系数时,为了得到清晰的光学条纹和保证样品与反射镜之间的稳定接触,要求样品磨得很平并要与高精度公差相等。样品两端的平面度和平行度
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一、前言通常,使用干涉膨胀计测定膨胀系数时,为了得到清晰的光学条纹和保证样品与反射镜之间的稳定接触,要求样品磨得很平并要与高精度公差相等。样品两端的平面度和平行度一般分别要求在0.05μm和5″范围内。
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