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黄点是ZnS—SiO2陶瓷靶材中常见的缺陷。从减少ZnS粉末原料中存在的微量杂质入手，对黄点缺陷产生的原因和消除措施进行了探索。结果表明，原料ZnS粉末中残存的单质S和SO4^2-是产生黄点的主要原因，采用高温烘烤的措施，可以大幅度降低S和SO4^2-的含量，从而达到减少甚至消除黄点缺陷的目的。酸洗可以降低以Fe为主的金属杂质的含量，但不宜在生产中采用。