【摘 要】
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本文探讨了对称远心光学系统作为等倍光刻物镜结构形式的理论依据。讨论了该物镜在满足衍射极限象质要求情况下如何控制高级象差的问题。最后给出一个相对孔径 D/f=1/2、线视
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本文探讨了对称远心光学系统作为等倍光刻物镜结构形式的理论依据。讨论了该物镜在满足衍射极限象质要求情况下如何控制高级象差的问题。最后给出一个相对孔径 D/f=1/2、线视场φ80mm、空间频率ν=200线/毫米时,MTF 为40%的设计结果。
In this paper, the theoretical basis of the symmetrical telecentric optical system as an equal-magnification photolithographic lens is discussed. The problem of how to control the advanced aberration under the condition of satisfying the diffraction limit image quality is discussed. Finally, a design result of 40% MTF with a relative aperture of D / f = 1/2, a field of view of φ80 mm and a spatial frequency of ν = 200 lines / mm is given.
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