半导体工艺使用的气体

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前言日本的半导体工业,由于具有优秀的半导体制作技术和相当的技术革新潜力,因而在世界上名列前矛。目前,64K位的超大规模集成电路业已步入工业生产阶段,正在进行256K至1M位的技术开发工作。面对着如此之高的集成度,目前把技术革新的重点主要放在电子设备的小型轻量化、性能和成品率的提高以及低价格化上。 Foreword Japan’s semiconductor industry, due to its excellent semiconductor manufacturing technology and considerable technological innovation potential, was among the best in the world. Currently, 64K-bit VLSI industry has entered the industrial production stage, ongoing 256K to 1M bit technology development. Faced with such a high degree of integration, the current focus of technological innovation mainly on small and lightweight electronic devices, performance and yield increase and lower prices.
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