【摘 要】
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红外扫描显微镜又称红外显微热象仪,是用来测定半导体器件表面热状态的专用设备。本文提出了红外扫描显微镜的关键部件——光机扫描机构的一种新方案,并初步探讨了用摆角电机
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红外扫描显微镜又称红外显微热象仪,是用来测定半导体器件表面热状态的专用设备。本文提出了红外扫描显微镜的关键部件——光机扫描机构的一种新方案,并初步探讨了用摆角电机(直流扫描电机)作行扫描执行元件、步进电机作帧扫描及同步斩波执行元件的设想。
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