【摘 要】
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该文基于溶胶凝胶法在衬底上制备了经不同退火温度处理的氧化钛薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见分光光度计(UV-Vis),对样品形貌、结晶和光学特
【机 构】
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电子科技大学光电科学与工程学院,中南大学物理与电子学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61421002,61377063).
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该文基于溶胶凝胶法在衬底上制备了经不同退火温度处理的氧化钛薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见分光光度计(UV-Vis),对样品形貌、结晶和光学特性进行了表征分析。结果表明,当退火温度在200~800℃范围变化时,氧化钛薄膜由非晶态到74.7%S相和25.3%锐钛矿的混合态,到纯锐钛矿相,再到11.2%锐钛矿和88.8%金红石的混合晶态依次发生变化。随着退火温度的升高,薄膜的晶粒尺寸逐渐增加,在紫外可见光波段的透过率下降、光学带隙升高,且量子尺寸效应导致薄膜的透过率峰值发
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