论文部分内容阅读
TSMC公司在丰富的生产实践经验基础上,通过建立一个完整的工艺平台把传统CMOS工艺与MEMS工艺结合起来。因此,目前在设计前端和定制后端解决方案上,该公司已具有与客户合作、为他们提供完整解决方案的潜力。虽然过去MEMS生产一般都依赖于IDM的支持,但TSMC坚信MEMS工艺和CMOS工艺的成功结合将会加强代工厂和MEMS设计人员之间的关系,