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对Fukui法测量MESFET栅极串联电阻的改进
对Fukui法测量MESFET栅极串联电阻的改进
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:blueskyjava
【摘 要】
:
本文描述了改进的Fukui法,利用改进的Fukui法可以精确地测量了GaAs MESFET的栅极串联电阻。实测结果表明,漏一源电阻的测量受栅势垒内建电势影响较小而受夹断电压影响较大,从漏-源电阻与X关系曲线的弯
【作 者】
:
穆甫臣
李志国
【机 构】
:
北京工业大学电子工程系可靠性物理研究室
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
MESFET
半导体器件
Fukui法
栅极串联电阻
【基金项目】
:
电子部“九五”预研项目和北京市科技新星项目资助
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本文描述了改进的Fukui法,利用改进的Fukui法可以精确地测量了GaAs MESFET的栅极串联电阻。实测结果表明,漏一源电阻的测量受栅势垒内建电势影响较小而受夹断电压影响较大,从漏-源电阻与X关系曲线的弯曲方向可以定性地判断夹断电压的误差方向。
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