【摘 要】
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硅单晶的中子嬗变掺杂(NTD),是硅原子俘获热中子发生(n,r)反应而实现嬗变掺磷的.这一核反应过程是~(30)Si(n,r)~(31)Si→~(31)P+β~-(T_(1/2)=2.6h).由于NTD工艺具有掺杂均
【机 构】
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北京大学,北京大学,清华大学,清华大学
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硅单晶的中子嬗变掺杂(NTD),是硅原子俘获热中子发生(n,r)反应而实现嬗变掺磷的.这一核反应过程是~(30)Si(n,r)~(31)Si→~(31)P+β~-(T_(1/2)=2.6h).由于NTD工艺具有掺杂均匀、易于精确控制等优点,日益受到注意.在大功率器件制造中已显示了它的优越性,人们正在研究将其用于制造高质量探测器等.NTD工艺会引入辐照损伤.~(30)Si原
The neutron transmutation doping (NTD) of silicon single crystal is the transmutation phosphorus doping by capturing (n, r) reaction of the thermal neutron by the silicon atom. The reaction process is ~ (30) Si (31) Si → ~ (31) P + β ~ - (T 1/2 (1/2) = 2.6h) NTD is attracting more and more attentions due to its advantages of uniform doping, easy control, etc. In the manufacture of high power devices Has shown its superiority and is being studied for its use in the manufacture of high quality detectors, etc. The NTD process introduces radiation damage.
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