Cr／CrN／CrNC／CrC／Cr-DLC梯度膜层的研究

来源 :中国表面工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：goddesslee

【摘要】

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采用中频磁控溅射结合离子源技术沉积Cr／CrN／CrNC／CrC／Cr-DLC膜层。利用扫描电镜（SEM）、电子能谱（EDS）、Raman光谱和俄歇深层剥层分别对膜层微观形貌、成分组成、键结构及梯度成分深

【作者】

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牛仕超余志明代明江林松盛候惠君李洪武

【机构】

：

中南大学材料科学与工程学院,广州有色金属研究院材料表面工程研究所

【出处】

：

中国表面工程

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

Cr-DLC 中频磁控溅射离子源附着力 Cr-DLC graduated interlayer middle frequency magnetron s

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采用中频磁控溅射结合离子源技术沉积Cr／CrN／CrNC／CrC／Cr-DLC膜层。利用扫描电镜（SEM）、电子能谱（EDS）、Raman光谱和俄歇深层剥层分别对膜层微观形貌、成分组成、键结构及梯度成分深层分布进行分析；采用努氏显微硬度计、摩擦磨损试验机、划痕仪及洛氏硬度计测评膜层机械性能。结果表明：采用中频磁控溅射可沉积出大面积Cr／CrN／CrNC／CrC／Cr-DLC梯度膜层；Cr溅射功率对C键结构影响不大，但表层DLC中Cr的含量和膜层厚度随中频功率增大而增大；随DLC中掺Cr量增多，膜层硬度及摩

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