开管铝镓扩散的掺杂机制

来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyf20011027
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针对铝乳胶源涂布与气相镓相结合的开管受主双质扩散技术,本文就其掺杂机制进行了分析讨论 Aiming at the open-tube acceptor double diffusion of aluminum latex coated with gas-phase gallium, this paper discussed the doping mechanism
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