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失效分析技术手段应是研究数字化元器件失效机理,提升商品良率以及精确性的重要途径.随着现代半导体制造技术手段从深亚微米网络时代转到纳米网络时代,执行失效分析变得越发困难.通过合理的故障分析,设备和技术来改善此情况.本文介绍了半导体器件的故障分析和检测.
半导体器件的检测与失效分析
【摘 要】
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失效分析技术手段应是研究数字化元器件失效机理,提升商品良率以及精确性的重要途径.随着现代半导体制造技术手段从深亚微米网络时代转到纳米网络时代,执行失效分析变得越发
【机 构】
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中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)
【出 处】
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百科论坛电子杂志
【发表日期】
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2021年2期
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