【摘 要】
：
本文介绍了用射频溅射法制备非晶态CoFeBMo软磁薄膜的工艺过程,较系统地研究了高频输入功率、氩气压、负偏压以及集辉磁场对膜矫顽力、磁感应强度、起始磁导率和电阻率的影响
【机 构】
：
山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系
论文部分内容阅读
本文介绍了用射频溅射法制备非晶态CoFeBMo软磁薄膜的工艺过程,较系统地研究了高频输入功率、氩气压、负偏压以及集辉磁场对膜矫顽力、磁感应强度、起始磁导率和电阻率的影响,从而找出最佳工艺条件,制备出较好的非晶态软磁薄膜。
In this paper, the process of preparing amorphous CoFeBMo soft magnetic thin films by radio frequency sputtering is introduced. The influences of high frequency input power, argon pressure, negative bias voltage and concentration magnetic field on the coercive force, magnetic induction, Initial permeability and resistivity, so as to find out the best process conditions, to prepare a better amorphous soft magnetic film.
其他文献
本文介绍印出计算机输出信息方法的研究结果,这种方法具有排印印刷过程的优点,但又与其不同,它不需要中间转移介质。印刷图形和半色成象方法是基于用聚焦激光(功率密度10~(1
在奥运百年的历史里,有些人用自己的努力和汗水赢得了掌声。他们的荣誉当然让人艳羡。但是还有一些舞者,他们身上背负的不仅是自己的荣誉,更载着一个国家的期望,他们是站在刀
采用饱和的紧束缚平板方法计算了覆盖度为0.5ML时Al/InP(110)的电子能态,并与Al/GaAs(110)的情况进行了比较.
The electron energy states of Al / InP (110) with a 0.5 ML
本文简要地介绍了1980年问世的晶片分步重复对准系统,接着着重讨论了全晶片对准设备的混合匹配,详细论述了与混合匹配有关的问题(晶片预对准和曝光区的精对准)。给出了分辩率
CC4超小型高频独石电容器,在100～400MHz 频率范围内,使用情况良好。在-55℃～+125℃温度区间可连续正常工作。它具有外形尺寸小,损耗低、易焊、耐焊等优点,它可作为晶体管功率放
记者日前就今年林业生产建设工作采访了林业部部长徐有芳。 徐部长说,今年林业生产建设的主要任务是,全国要完成造林合格面积6720万亩,林业产业发展速度要达到9％以上,总产值
其实胡金铨也不就一定要拍电影;他去做一些社会建设工作也很好。他真该去建一个村,一个纯中国古风的村。他不但设计房屋庭院的格式,规划湖泊鱼塘之所在,以及计算茶肆饭馆的数
各市、县、自治县人民政府,省政府直属各有关单位:去年,我省护林保胶工作在各级党委、政府的重视和各有关部门的密切配合下,取得了显著的成绩,保证了橡胶生产的正常秩序,为
美国AT&T Bell Laboratories研制出二种信息传输速度为4Gb/S的100Km无中继光纤系统。一种是能对半导体激光器直接进行电流调制的系统。使用的激光器是用气相技术制作的分布
如何才能提高学生的英语学习兴趣呢?作为教师本身至关重要,必须端正教育思想,提高自身的业务素质,改革教学方法;应从实际情况出发,努力运用教育心理学的原理,研究学习外语的