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非晶态CoFeBMo薄膜的制备和性能
本文介绍了用射频溅射法制备非晶态CoFeBMo软磁薄膜的工艺过程,较系统地研究了高频输入功率、氩气压、负偏压以及集辉磁场对膜矫顽......
期刊
CoFeBMo
负偏压
非晶态
起始磁导率
射频溅射
软磁
工艺条件
磁化场
晶膜
溅射功率
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