【摘 要】
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引言激光干涉仪是当代公认的高精度计量仪器,其典型的用途是精密测长,使用范围遍及电子工业中的亚微米级的微定位及机械工业中数米及数十米大型坐标设备之坐标精度的测定。
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引言激光干涉仪是当代公认的高精度计量仪器,其典型的用途是精密测长,使用范围遍及电子工业中的亚微米级的微定位及机械工业中数米及数十米大型坐标设备之坐标精度的测定。在上述使用领域内,激光干涉仪本身的测
Introduction Laser interferometer is a contemporary recognized high-precision measuring instrument, its typical use is precision measuring length, the use of the range of sub-micron micro-positioning in the electronics industry and the mechanical industry in meters and tens of meters coordinates of large-scale coordinates Determination of accuracy. In the above fields of use, the laser interferometer itself measured
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