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了具有磺向电阻的网格状电阻层结构的场发射阵列，因为场发射阵列发射的不均匀性以及异常发射都是妨碍场发射显示器发展的重大问题。电阻层的等效电阻有横向与纵向电阻之分，相互串接在阴极与微尖发射体之间。实验制得的场发射阵列器件，展示了电阻层在改善器件性能方面的重要作用。
网格状电阻层对FEA的作用
【摘 要】
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了具有磺向电阻的网格状电阻层结构的场发射阵列，因为场发射阵列发射的不均匀性以及异常发射都是妨碍场发射显示器发展的重大问题。电阻层的等效电阻有横向与纵向电阻之分，相互
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年4期
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